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第5讲：SiC的晶体缺陷产品信息

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    第5讲：SiC的晶体缺陷

    在SiC晶体中存在各种缺陷，其中一些会影响器件的特性。SiC缺陷的主要类型包括微管、晶界、多型夹杂物、碳夹杂物等大型缺陷、以及

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    2024-09-23