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第8讲：SiC外延生长技术

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    第8讲：SiC外延生长技术

    SiC外延生长技术是SiC功率器件制备的核心技术之一，外延质量直接影响SiC器件的性能。目前应用较多的SiC外延生长方法是化学气相沉

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    2024-10-24